2016-08-11: Gesellschaft mit beschränkter Haftung. Gesellschaftsvertrag vom 15.02.2006, mehrfach geändert. Die Gesellschafterversammlung vom 04.07.2016 hat die Änderung des Gesellschaftsvertrages in § 1 und mit ihr die Sitzverlegung von Kirchheim b.München, Landkreis München (bisher Amtsgericht München HRB 202502) nach Wettenberg beschlossen. Geschäftsanschrift: Im Westpark 10 - 12, 35435 Wettenberg. Gegenstand: Entwicklung und Vertrieb von Systemen, Anwendungen und Verfahren im Bereich der Plasmatechnologie und verwandter Bereiche sowie industrielle Herstellung entsprechender Anlagen, ferner Entwicklung, Fertigung und der Vertrieb von Mess-Systemen bzw. von Baugruppen und Teilen solcher Systeme für die Halbleiterfertigungsindustrie bzw. die Halbleiterfertigungsgeräteindustrie sowie der Betrieb eines weltweiten Mess-Services für Halbleiterfertigungsgeräte. Stammkapital: 250.000,00 EUR. Allgemeine Vertretungsregelung: Ist nur ein Geschäftsführer bestellt, so vertritt er die Gesellschaft allein. Sind mehrere Geschäftsführer bestellt, so wird die Gesellschaft durch zwei Geschäftsführer oder durch einen Geschäftsführer gemeinsam mit einem Prokuristen vertreten. Bestellt als Geschäftsführer: Döring, Henning, Gießen, *14.03.1977, einzelvertretungsberechtigt; mit der Befugnis, im Namen der Gesellschaft mit sich im eigenen Namen oder als Vertreter eines Dritten Rechtsgeschäfte abzuschließen. Die Jena Wave GmbH mit dem Sitz in Jena (Amtsgericht Jena HRB 209344) ist auf Grund des Verschmelzungsvertrages vom 25.08.2014 und der Beschlüsse der Gesellschafterversammlungen vom selben Tag mit der Gesellschaft als übernehmendem Rechtsträger verschmolzen. Die Munich Metrology GmbH mit dem Sitz in Kirchheim b. München (Amtsgericht München HRB 175521) ist auf Grund des Verschmelzungsvertrages vom 22.04.2015 und der Beschlüsse der Gesellschafterversammlungen vom selben Tag mit der Gesellschaft verschmolzen. Die Gesellschaft hat am 02.06.2014 mit der PVA TePla AG mit dem Sitz in Wettenberg (Amtsgericht Gießen HRB 6845) als herrschender Gesellschaft einen Beherrschungs- und Gewinnabführungsvertrag geschlossen. Die Gesellschafterversammlung hat mit Beschluss vom 04.03.2015 zugestimmt.
2016-11-03: Bestellt als Geschäftsführer: Dr. Kerat, Uwe, Dießen, *19.04.1969.
2016-12-12: Nicht mehr Geschäftsführer: Dr. Kerat, Uwe, Dießen, *19.04.1969.
2017-01-05: Nicht mehr Geschäftsführer: Döring, Henning, Gießen, *14.03.1977. Bestellt als Geschäftsführer: Abel, Peter, Wettenberg, *12.03.1953.
2017-05-09: Bestellt als Geschäftsführer: Dr. Grabosch, Günter, Königstein im Taunus, *18.01.1962.
2019-05-07: Gesamtprokura gemeinsam mit einem Geschäftsführer oder einem anderen Prokuristen: Schmalz, Marco, Wetzlar, *25.11.1977.
2020-02-17: Nicht mehr Geschäftsführer: Dr. Grabosch, Günter, Königstein im Taunus, *18.01.1962.
2020-04-27: Bestellt als Geschäftsführer: Dr. Maier, Markus, Dornburg, *22.02.1970.
2021-04-29: Geändert, nun: Geschäftsführer: Höfer, Oliver, Jena, *08.09.1968, einzelvertretungsberechtigt; mit der Befugnis, im Namen der Gesellschaft mit sich als Vertreter eines Dritten Rechtsgeschäfte abzuschließen.